超純水制備系統通常包含以下幾個關鍵步驟：

預處理階段：去除原水中的懸浮固體、顆粒物、有機物及微生物等雜質，常用設備有多介質過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器等。

反滲透（RO）階段：通過反滲透膜將大部分溶解性鹽分、有機物和微生物等進一步去除，得到初級純水。

離子交換（IX）階段：采用陰陽離子交換樹脂去除反滲透后的水中殘留的離子污染物。

電去離子（EDI）階段：這是一種連續電除鹽技術，通過電場作用和離子交換樹脂的作用，實現離子的高效去除，從而提高水質至更高純度。

殺菌及有機物脫除（UV/TOC）：消毒/用于有效減少有機物（通常稱為總有機碳，TOC）含量 。

氣體脫除(MDG）：利用擴散的原理將液體中的氣體，如二氧化碳、氧氣、氨氮去除的膜分離產品。

拋光混床（MB）階段：作為最終精處理步驟，混合型離子交換柱能有效去除痕量離子，保證出水達到超純水標準。

終端過濾（UF/PES）：使用超濾或聚醚砜等微孔濾膜進一步過濾掉可能存在的細菌、病毒及膠體物質，確保最終水質符合半導體生產所需的標準。

通過以上一系列嚴謹且復雜的處理工藝，超純水制備系統得以產出適用于各類企業精密制造流程所需的高品質超純水。同時，此類系統需配備完善的水質監測系統，實時監控并調整水質參數，確保持續穩定地供應超純水。